海德漢HEIDENHAIN編碼器
海德漢是擁有一百多年光刻制造技術的德國公司。以生產高精度的產品而著名，產品主要包括HEIDENHAIN直線光柵尺、HEIDENHAIN長度計、HEIDENHAIN角度編碼器、海德漢旋轉編碼器、HEIDENHAIN數控系統、海德漢3D測頭和海德漢數顯裝置等。
海德漢公司的光學掃描型光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線-光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。
這些精密光柵通過多種光刻工藝制造。光柵的制造方式有：
在玻璃上鍍硬鉻線
在鍍金鋼帶上蝕刻線條
在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結構圖案
海德漢公司開發的光刻工藝生產的典型柵距為50um~um。
這些光刻工藝制作的光柵距非常小，而且線條邊緣清晰均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵。
旋轉編碼器的位置測量精度主要取決于：
徑向光柵的方向偏差
刻線碼盤相對軸承的偏心
軸承徑向偏差
與聯軸器的連接導致的誤差
編碼器內和編碼器外細分和數字化電路中的細分誤差
ECN/EQN/ERN系列旋轉編碼器有內置軸承和安裝式定子聯軸器。它能補償徑向跳動和對正誤差且幾乎不影響精度。編碼器軸直接連接被測量軸。軸角加速期間，定子聯軸器必須只吸收軸承摩擦所導致的扭矩。定子聯軸器允許被測軸軸向竄動量為：
HEIDENHAIN海德漢EQN1325編碼器
內置軸承并安裝在電機內的旋轉編碼器
安裝式定子聯軸器
安裝直徑65 mm
錐度軸
每轉位置數：8192 (13 bits)
電氣允許轉速：≤ 12000 min–1
增量信號：1 VSS
線數：2048
系統精度：± 20"
電源:5 V± 5%
Shaft:錐度軸；錐度1:10
定子聯軸器固有頻率:≥ 1800 Hz
工作溫度:115°C~-40
防護等級 IEC 60529:IP 40安裝后
重量:約 0.25 kg
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